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Optical waveguide microresonators on a chip created in this effort, which are ten times thinner than human hair. 

Des microrésonateurs à guide d'onde optique sur puce créés dans le cadre de ce projet, qui sont dix fois plus fins qu'un cheveu humain. (Crédit : CU Boulder College of Engineering and Applied Science)

Des capteurs optiques ultra-efficaces en miniaturisant la lumière sur puce

par La rédaction
2 mars 2026
en Optique, Technologie

Des chercheurs de CU Boulder ont développé des micro-résonateurs optiques hautes performances, ouvrant la voie à de nouvelles technologies de capteurs. Dans sa forme la plus simple, un micro-résonateur est un minuscule dispositif capable de piéger la lumière et d’augmenter son intensité. Une fois l’intensité suffisamment élevée, les chercheurs peuvent réaliser des opérations optiques uniques. 

« Notre travail consiste à utiliser moins de puissance optique avec ces résonateurs pour des applications futures », affirme Bright Lu, doctorant de quatrième année en génie électrique et informatique et auteur principal de l’étude. « Un jour, ces micro-résonateurs pourront être adaptés à une large gamme de capteurs, de la navigation à l’identification chimique. »

Pour ces travaux, publiés dans Applied Physics Letters, l’équipe s’est concentrée sur des résonateurs « de type circuit », nommés ainsi pour leur forme allongée qui ressemble à une piste de course. 

Concrètement, les chercheurs ont utilisé des « courbes d’Euler » — un type de courbe lisse également présent dans la conception des routes et des voies ferrées. Tout comme une voiture ne peut pas effectuer de virage à angle droit en mouvement, la lumière ne peut pas être forcée dans des courbes abruptes.

« Ces courbes de circuit minimisent les pertes par flexion », explique Won Park, professeur Sheppard de génie électrique et co-directeur de l’étude. « Notre choix de conception a été une innovation clé de ce projet. »

En guidant la lumière en douceur à travers le résonateur, ils ont considérablement réduit les pertes lumineuses, permettant aux photons de circuler plus longtemps et d’interagir plus intensément à l’intérieur du dispositif.

Si trop de lumière est perdue, souligne Lu, on ne peut pas atteindre les intensités lumineuses élevées nécessaires pour que ces micro-résonateurs fonctionnent avec les performances requises. 

Fabriqué au Colorado 

D’une taille incroyablement petite, les micro-résonateurs ont été fabriqués en utilisant le nouveau système de lithographie par faisceau d’électrons de la salle blanche du Colorado Shared Instrumentation in Nanofabrication and Characterization (COSINC).

Cette installation fournit un environnement hautement contrôlé, indispensable pour travailler aux échelles microscopiques nécessitant une fiabilité des performances des dispositifs. 

De nombreux dispositifs optiques et photoniques sont plus petits que l’épaisseur d’une feuille de papier, ce qui signifie que même de minuscules particules de poussière ou des imperfections de surface peuvent perturber la propagation de la lumière à travers un matériau. 

« La lithographie traditionnelle utilise des photons et est fondamentalement limitée par la longueur d’onde de la lumière », indique Lu. « Cependant, la lithographie par faisceau d’électrons n’a pas une telle contrainte. Avec les électrons, nous pouvons réaliser nos structures avec une résolution sub-nanométrique, ce qui est critique pour nos micro-résonateurs. »

Pour Lu, l’aspect pratique du processus de fabrication a été une partie gratifiante du projet. 

« Les salles blanches sont tout simplement géniales. Vous travaillez avec ces machines massives et précises, et ensuite vous obtenez des images de structures que vous avez fabriquées, larges de seulement quelques microns. Transformer un film mince de verre en un circuit optique fonctionnel est vraiment satisfaisant. »

Un succès clé de ces travaux a été la capacité des chercheurs à utiliser des chalcogénures, un terme générique désignant une famille de verres semi-conducteurs spécialisés.

« Ces chalcogénures sont d’excellents matériaux pour la photonique en raison de leur haute transparence et de leur non-linéarité », souligne Park. « Nos travaux représentent l’un des dispositifs les plus performants utilisant des chalcogénures, si ce n’est le meilleur. »

Les chalcogénures se sont avérés utiles car ils présentent une forte transparence, permettant à la lumière de traverser le dispositif aux intensités élevées requises pour les micro-résonateurs. 

Cependant, ces matériaux ne sont pas faciles à mettre en œuvre, ce qui nécessite de trouver un équilibre délicat. 

« Les chalcogénures sont des matériaux difficiles, mais gratifiants, pour fabriquer des dispositifs photoniques non linéaires », explique la professeure Juliet Gopinath, qui a collaboré à ce projet avec Park pendant plus de 10 ans. « Nos résultats ont montré que minimiser les pertes par flexion permet de réaliser des dispositifs à pertes ultra-faibles, comparables à l’état de l’art dans d’autres plates-formes matérielles. »

Mesurer la lumière à l’échelle microscopique

Une fois fabriqués, les micro-résonateurs ont été confiés pour des tests, travaux dirigés par James Erikson, un doctorant en physique spécialisé dans les mesures laser. Il a soigneusement aligné des lasers avec des guides d’ondes microscopiques, couplant la lumière à l’entrée et à la sortie du dispositif tout en surveillant son comportement interne.

Les chercheurs ont recherché des « creux » dans les données de lumière transmise, qui indiquent une résonance lorsque les photons sont piégés. En analysant la forme de ces creux, ils ont pu extraire des propriétés comme l’absorption et les effets thermiques.

« L’indicateur le plus évident de la qualité d’un dispositif est la forme des résonances, et nous les voulons profondes et étroites, comme une aiguille traversant le fond du signal », déclare Erikson. « Nous poursuivons ce type de résonateur depuis longtemps, et lorsque nous avons vu les résonances aiguës sur ce nouveau dispositif, nous avons su immédiatement que nous avions enfin réussi. »

Erikson a ajouté que pour réaliser un bon dispositif, il faut savoir quelle quantité de lumière sera absorbée par rapport à celle qui sera transmise. Les effets thermiques deviennent importants lorsque l’on augmente la puissance laser, car on risque d’endommager le dispositif. 

« La façon dont la plupart des matériaux interagissent avec la lumière change également en fonction de leur température », note Erikson. « Ainsi, lorsqu’un dispositif chauffe, ses propriétés peuvent changer et le faire fonctionner différemment. »

À l’avenir, les micro-résonateurs pourraient être utilisés pour des microlasers compacts, des capteurs chimiques et biologiques avancés, et même des outils pour la métrologie quantique et les réseaux.

« De nombreux composants photoniques, tels que les lasers, les modulateurs et les détecteurs, sont en cours de développement, et des micro-résonateurs comme les nôtres aideront à relier tous ces éléments », conclut Lu. « À terme, l’objectif est de créer un dispositif que l’on pourrait confier à un fabricant pour en produire des centaines de milliers. »

Journal : Applied Physics Letters – DOI : Lien vers l’étude

Source : CU Boulder

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