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Optical waveguide microresonators on a chip created in this effort, which are ten times thinner than human hair. 

Des microrésonateurs à guide d'onde optique sur puce créés dans le cadre de ce projet, qui sont dix fois plus fins qu'un cheveu humain. (Crédit : CU Boulder College of Engineering and Applied Science)

Des capteurs optiques ultra-efficaces en miniaturisant la lumière sur puce

par La rédaction
2 mars 2026
en Optique, Technologie

Des chercheurs de CU Boulder ont développé des micro-résonateurs optiques hautes performances, ouvrant la voie à de nouvelles technologies de capteurs. Dans sa forme la plus simple, un micro-résonateur est un minuscule dispositif capable de piéger la lumière et d’augmenter son intensité. Une fois l’intensité suffisamment élevée, les chercheurs peuvent réaliser des opérations optiques uniques. 

« Notre travail consiste à utiliser moins de puissance optique avec ces résonateurs pour des applications futures », affirme Bright Lu, doctorant de quatrième année en génie électrique et informatique et auteur principal de l’étude. « Un jour, ces micro-résonateurs pourront être adaptés à une large gamme de capteurs, de la navigation à l’identification chimique. »

Pour ces travaux, publiés dans Applied Physics Letters, l’équipe s’est concentrée sur des résonateurs « de type circuit », nommés ainsi pour leur forme allongée qui ressemble à une piste de course. 

Concrètement, les chercheurs ont utilisé des « courbes d’Euler » — un type de courbe lisse également présent dans la conception des routes et des voies ferrées. Tout comme une voiture ne peut pas effectuer de virage à angle droit en mouvement, la lumière ne peut pas être forcée dans des courbes abruptes.

« Ces courbes de circuit minimisent les pertes par flexion », explique Won Park, professeur Sheppard de génie électrique et co-directeur de l’étude. « Notre choix de conception a été une innovation clé de ce projet. »

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En guidant la lumière en douceur à travers le résonateur, ils ont considérablement réduit les pertes lumineuses, permettant aux photons de circuler plus longtemps et d’interagir plus intensément à l’intérieur du dispositif.

Si trop de lumière est perdue, souligne Lu, on ne peut pas atteindre les intensités lumineuses élevées nécessaires pour que ces micro-résonateurs fonctionnent avec les performances requises. 

Fabriqué au Colorado 

D’une taille incroyablement petite, les micro-résonateurs ont été fabriqués en utilisant le nouveau système de lithographie par faisceau d’électrons de la salle blanche du Colorado Shared Instrumentation in Nanofabrication and Characterization (COSINC).

Cette installation fournit un environnement hautement contrôlé, indispensable pour travailler aux échelles microscopiques nécessitant une fiabilité des performances des dispositifs. 

De nombreux dispositifs optiques et photoniques sont plus petits que l’épaisseur d’une feuille de papier, ce qui signifie que même de minuscules particules de poussière ou des imperfections de surface peuvent perturber la propagation de la lumière à travers un matériau. 

« La lithographie traditionnelle utilise des photons et est fondamentalement limitée par la longueur d’onde de la lumière », indique Lu. « Cependant, la lithographie par faisceau d’électrons n’a pas une telle contrainte. Avec les électrons, nous pouvons réaliser nos structures avec une résolution sub-nanométrique, ce qui est critique pour nos micro-résonateurs. »

Pour Lu, l’aspect pratique du processus de fabrication a été une partie gratifiante du projet. 

« Les salles blanches sont tout simplement géniales. Vous travaillez avec ces machines massives et précises, et ensuite vous obtenez des images de structures que vous avez fabriquées, larges de seulement quelques microns. Transformer un film mince de verre en un circuit optique fonctionnel est vraiment satisfaisant. »

Un succès clé de ces travaux a été la capacité des chercheurs à utiliser des chalcogénures, un terme générique désignant une famille de verres semi-conducteurs spécialisés.

« Ces chalcogénures sont d’excellents matériaux pour la photonique en raison de leur haute transparence et de leur non-linéarité », souligne Park. « Nos travaux représentent l’un des dispositifs les plus performants utilisant des chalcogénures, si ce n’est le meilleur. »

Les chalcogénures se sont avérés utiles car ils présentent une forte transparence, permettant à la lumière de traverser le dispositif aux intensités élevées requises pour les micro-résonateurs. 

Cependant, ces matériaux ne sont pas faciles à mettre en œuvre, ce qui nécessite de trouver un équilibre délicat. 

« Les chalcogénures sont des matériaux difficiles, mais gratifiants, pour fabriquer des dispositifs photoniques non linéaires », explique la professeure Juliet Gopinath, qui a collaboré à ce projet avec Park pendant plus de 10 ans. « Nos résultats ont montré que minimiser les pertes par flexion permet de réaliser des dispositifs à pertes ultra-faibles, comparables à l’état de l’art dans d’autres plates-formes matérielles. »

Mesurer la lumière à l’échelle microscopique

Une fois fabriqués, les micro-résonateurs ont été confiés pour des tests, travaux dirigés par James Erikson, un doctorant en physique spécialisé dans les mesures laser. Il a soigneusement aligné des lasers avec des guides d’ondes microscopiques, couplant la lumière à l’entrée et à la sortie du dispositif tout en surveillant son comportement interne.

Les chercheurs ont recherché des « creux » dans les données de lumière transmise, qui indiquent une résonance lorsque les photons sont piégés. En analysant la forme de ces creux, ils ont pu extraire des propriétés comme l’absorption et les effets thermiques.

« L’indicateur le plus évident de la qualité d’un dispositif est la forme des résonances, et nous les voulons profondes et étroites, comme une aiguille traversant le fond du signal », déclare Erikson. « Nous poursuivons ce type de résonateur depuis longtemps, et lorsque nous avons vu les résonances aiguës sur ce nouveau dispositif, nous avons su immédiatement que nous avions enfin réussi. »

Erikson a ajouté que pour réaliser un bon dispositif, il faut savoir quelle quantité de lumière sera absorbée par rapport à celle qui sera transmise. Les effets thermiques deviennent importants lorsque l’on augmente la puissance laser, car on risque d’endommager le dispositif. 

« La façon dont la plupart des matériaux interagissent avec la lumière change également en fonction de leur température », note Erikson. « Ainsi, lorsqu’un dispositif chauffe, ses propriétés peuvent changer et le faire fonctionner différemment. »

À l’avenir, les micro-résonateurs pourraient être utilisés pour des microlasers compacts, des capteurs chimiques et biologiques avancés, et même des outils pour la métrologie quantique et les réseaux.

« De nombreux composants photoniques, tels que les lasers, les modulateurs et les détecteurs, sont en cours de développement, et des micro-résonateurs comme les nôtres aideront à relier tous ces éléments », conclut Lu. « À terme, l’objectif est de créer un dispositif que l’on pourrait confier à un fabricant pour en produire des centaines de milliers. »

Journal : Applied Physics Letters – DOI : Lien vers l’étude

Source : CU Boulder

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Tags: capteurmicroresonateuroptiquephotonique
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CU Boulder researchers have built high performing optical microresonators opening the door for new sensor technologies.

At its simplest form, a microresonator is a tiny device that can trap light and build up its intensity.

Once the intensity is high enough, researchers can perform unique light operations. 

“Our work is about using less optical power with these resonators for future uses,” said Bright Lu, a fourth-year doctoral student in electrical and computer engineering and a lead author on the study. “One day these microresonators can be adapted for a wide range of sensors from navigation to identifying chemicals.”

For this endeavor, published in Applied Physics Letters, the team focused on "racetrack" resonators, named for their elongated shape that resembles a running track. 

Specifically, researchers used "Euler curves"—a type of smooth curve also found in road and railway design. Just as cars can’t make sharp right-angle turns in motion, light can not be forced into abrupt bends.

“These racetrack curves minimize bending loss,” said Won Park, Sheppard Professor of Electrical Engineering, a co-advisor on the study. “Our design choice was a key innovation of this project.”

By guiding light smoothly through the resonator, they dramatically reduced light loss, allowing photons to circulate longer and interact more strongly inside the device.

If too much light is lost, Lu says, high light intensities can’t be achieved for these microresonators to operate at the needed performance. 

Made in Colorado 

Incredibly small in size, the microresonators were built using the Colorado Shared Instrumentation in Nanofabrication and Characterization (COSINC) clean room’s new electron beam lithography system.

The facility provides a highly-controlled environment required to work at the microscopic scales that can lead to reliable device performance. 

Many optical and photonic devices are smaller than the width of a piece of paper, meaning even tiny dust particles or surface imperfections can disrupt how light travels through a material. 

“Traditional lithography uses photons and is fundamentally limited by the wavelength of light,” Lu said. “However, electron beam lithography has no such constraint. With electrons, we can realize our structures with sub-nanometer resolution, which is critical for our microresonators.”

For Lu, the hands-on fabrication process was a fulfilling aspect of the project. 

“Clean rooms are just cool. You’re working with these massive, precise machines, and then you get to see images of structures you made only microns wide. Turning a thin film of glass into a working optical circuit is really satisfying.”

A key success from the work was the ability of the researchers to use chalcogenides, a broad term encompassing a family of specialized semiconductor glasses.

“These chalcogenides are excellent materials for photonics because of their high transparency and nonlinearity,” said Park. “Our work represents one of the best performing devices using chalcogenides, if not the best.”

Chalcogenides were helpful since they have strong transparency for light to pass through the device at high intensities needed for microresonators. 

However, the materials are not easy to process for the device, so there’s a balancing act to tread. 

“Chalcogenides are difficult, but rewarding materials to operate for photonic nonlinear devices,” said Professor Juilet Gopinath, who has worked on this project with Park for more than 10 years. “Our results showed that minimizing the bend loss enables ultra-low loss devices comparable to state-of-the-art in other materials platforms.”

Measuring light at the microscale

Once fabricated, the microresonators were handed off for testing, work led by James Erikson, a physics PhD student specializing in laser-based measurements. He carefully aligned lasers with microscopic waveguides, coupling light into and out of the device while monitoring how it behaved inside.

The researchers looked for "dips" within the data in transmitted light that indicate resonance as photons get trapped. By analyzing the shape of those dips, they were able to extract properties like absorption and thermal effects.

“The most obvious indicator of device quality is the shape of the resonances and we want them to be deep and narrow, like a needle piercing through the signal background,” said Erikson. “We’ve been chasing this kind of resonator for a long time, and when we saw the sharp resonances on this new device we knew right away that we’d finally cracked the code.”

Erikson added, to make a good device you need to know how much light will be absorbed versus transmitted. Thermal effects become important when adding laser power as you run the risk of damaging the device. 

“The way most materials interact with light also changes depending on the temperature of the material,” said Erikson. “So as a device heats up its properties can change and cause it to work differently.”

In the future, the microresonators could be used for compact microlasers, advanced chemical and biological sensors and even tools for quantum metrology and networking.

“Many photonic components from lasers, modulators and detectors are being developed and microresonators like ours will help tie all of those pieces together,” said Lu. “Eventually, the goal is to build something you could hand to a manufacturer and create hundreds of thousands of them.”

Journal

Applied Physics Letters

DOI

10.1063/5.0305459

Article Publication Date

23-Feb-2026

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