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En savoir plusDetailsLe laser BAT au cœur d’une percée technologique dans la lithographie avancée
Le domaine de la microélectronique se trouve à un tournant avec les limites actuelles de la technologie de lithographie. Pour...
En savoir plusDetailsLe laser DUV à 193 nm : une avancée majeure pour la lithographie de pointe
Des scientifiques ont développé un laser DUV à l'état solide de 60 milliwatts à 193 nm en utilisant des cristaux...
En savoir plusDetailslithographie
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